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洁净室气流流向检测

一、 测试目的

平行度测量的目的,是观察在工作区域里面气流的运动模式,同时也可以观察仪器设备对气流的影响。平行度测量应该在气流的风速与均匀度都测试完毕且通过之后进行,过早进行可能得不到正确的数据。

二、 测试方法


一般而言平行度的测量,是由肉眼观察所决定。使用的工具包括烟雾、水雾、pfa 、和轻质棉线。。烟雾或水雾的共同优点是只要粒子够小,烟雾可随风飘扬,可正确的反映气流运动模式。但是其共同问题是滞空性不足,观测时间太短。测量平行度需要花一些时间,因此需要大量烟雾或水雾,对无尘室可能造成污染。另一种方式是使用轻质细线,让细线随风飘舞,然后测量气流平行度。在无尘室内普遍使用新的高分子材料 flo-viz ,是用尼龙-单丝所制成,由于很轻因此适合作无尘室平行度测量。测量平行度的方法是立一根铅垂线,然后在滤网下方施放烟雾或是安放细线,之后观察所施放烟雾与铅垂线的夹角,或是测量细线与铅垂线的夹角,就可决定气流的平行度。



不同级别相邻洁净室间检测的压差

防止从相邻的洁净度较低的区域向洁净室传播污染的主要方法是:维持高洁净度区域相对于低洁净度区域、低洁净度区域相对于服务区域、服务区域相对于室外有一个合适的正压值。根据不同的情况,不同级别相邻房间的正压值约为1~lpa。让不同洁净度的各级房间维持梯次的压差,目的是当房间的门处于关闭情况时通过缝隙的气流流向是由别洁净室流向低级别洁净室、由低级别洁净室流向走廊和服务区,再流向室外,这样就可减少室外向服务区、服务区向低级别洁净室,低级别洁净室向别洁净室传播空气中的悬浮污染物。



洁净室检测

1.洁净度检验:于距地板高度约1.23~1.25m用微尘粒子计数计测试之,测试完毕,应列印其数值记录。

2.风速及风量检验:于ulpa下方约150m / m处,用热线式风速计测定,原则上每只ulpa测定两点,每点之测定时间约5秒;风量则依风速之测试值,以下式之公式计算之。风量=平均风速×出风之面积ulpa之面积)。




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