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工作区空态或静态条件下的空气洁净度测定

测点布置在工作区内选择具有代表性的测点。同时为了便于对空气洁净系统的洁净效果进行技术分析,还应在回风口、走廊及室外布置测点。工作区测点的布置一般距离地面0.8~1m为宜。认为需要布置测点的其他部位.水平单向流洁净室的测点应布置在一工作区内.回风口的测点布置﹑

回风口的测点布置:在有代表性的回风口处.

走廊的测点布置:走廊的测点应布置在走廊的中段距地面lm处.

室外的测点布置:室外的测点应布置在系统的新风口或大门口距地面1m 以上具有代表性的部位.



洁净室检测测定方法

清洁度测试方法对过程控制、和失效分析非常重要,是概括用于获得有关测定主体如各种机械设备、电子零件等清洁度测试的详细过程。

清洁度测试时对取样有要求,取样的基本要求决定于样品的数量和取样位置。零件体积越大、表面积越大、清洁度偏低,则样品数量相应减少。应该从生产中随机抽取零件,并且采样过程和后面的检查过程中不能造成零件的污染。清洁度测试时,一要环境清洁,其清洁度测试应与检测的要求相适应;二要检测人员的衣帽和双手清洁;三要所用器具也必须清洁。



缓冲洁净室压差的检测要求

应监测开关门后压差恢复的情况,-压差恢复后才能打开另一道门。有-测试和记录这些开关门常规压差变化,以便为压力报警设定适当的警戒和行动限。参照以下程序进行评估:

1.关闭所有的门和传递窗,定义所有设备的运行状态,观察稳定状态下所选择的房间或区间的压差,注意由于风或其它动态影响产生的小的常规波动;

2.每个缓冲间、传递窗或转移舱,打开所有的门,一次打开一边的门,注意房间或区间压力波动。关门,确认压差回到其原始值;

3.泄漏通道,例如门周边泄漏,应进行评估,作为洁净间设计的一部分,以-为此泄漏做出了足够的空气平衡余量。





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